Кремний

Основной объем монокристаллического кремния (80-90%) потребляемого электронной промышленно- стью, выращиваеться по методу Чохральского. Фактически весь кремний,используемый для произво- дства интегральных схем,производиться этим методом. Кристаллы выращенные этим методом обычно не содержат краевых дислокаций,но могут включать небольшие дислокационные петли,образующиеся при конденсации избыточных точечных дефектов. Кристаллический рост заключаеться в фазовом переходе из жидкого состояния в твердую фазу. Применительно к кремнию этот процесс может быть охарактеризован как однокомпонентная ростовая система жидкость-твердое тело.

Скачать