Современные технологии вакуумной металлизации
31 января 2007
Предлагаются результаты многолетних работ по созданию технологий и оборудования для нанесения тонкопленочных покрытий (0,01-50 мкм) ионно-плазменным магнетронным и вакуумно-дуговым распылением.
Отличительная особенность разработок:
— легкая адаптация к различным типам оборудования;
— экологическая чистота и комплексный подход к решению технологических задач и организации производства в целом.
1. Высокопрочные композиционные металлоуглеродистые покрытия на металлорежущий инструмент, фрикционные пары (центрифуги, сепараторы, компрессоры, турбореактивные двигатели, двигатели внутреннего сгорания, швейные машинки и др.). Главными достоинствами технологии являются отказ от использования реакционных газов, возможность варьирования состава и свойств покрытия в широком диапазоне (от смеси металл-углерод до карбида металла с микротвердостью от 200 до 3500 кг/мм2).
2. Коррозионно- и износостойкие декоративные покрытия на основе магния, алюминия, хрома, циркония, титана, ванадия и их шпинелей на изделиях из стекла, керамики, металла и пластмасс. Главным достоинством технологии являются отказ от использования кислорода и его смесей, применения в качестве мишений относительно дешевых металлов и сплавов.
3. Никелевые покрытия, наносимые магнетронным методом со скоростью осаждения от 1 до 4 мкм/мин. Технология может стать альтернативной гальваническим и химическим процессам.
4. Покрытие внутренних поверхностей цилиндрических полостей и труб длинной до 6,5 м различными материалами, в том числе магнитным с помощью коаксиальных магнетронов. Главное достоинство технологии — высокая скорость осаждения (до 10 мкм/мин.).
Институт совместно с предприятиями Российской федерации располагает собственным производством, включающим 25 установок различного назначения, производящих до 500 тыс. изделий в месяц с покрытиями различного типа, и готов рассмотреть различные формы сотрудничества, включая организацию совместных производств, совместную разработку новых технологий и оборудования для тонкопленочного производства, выпуск и реализацию готовых изделий, мишений и пр.
